アクセリス、日本の大手半導体パワーデバイスメーカー向け「Purion EXE SiC Power Series」および「Purion H200 SiC Power Series」注入装置の出荷を発表
https://imamura-stg-dot-kiji2-dot-nordot-prod-us.appspot.com/1175213501747495888